某半导体技术心片制造技术厂在晶圆制造进程中，选用硅烷实行硅外延性生長，废气排放洗涤剂塔呈现高有机废气浓度含硅废液。废液具备着pH变化大（2-11）、硅含水量高的显著特点，传统性补救技术易展现硅垢堵住了状况。 废污水部分及来源地 废水处理注意化学物质为： 可溶性高，溶于水的性硅酸盐 ：SiO₂密度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢被氧化钠 ：洗滌塔酸碱度洗滌液残余 顆粒硅 ：微米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：工业原料杂质残渣带往 外理工艺技术工艺 转型升级采取"多级结合+膜活性炭过滤+减压蒸馏晶体"工艺设备： 特一级采和 ：用CaO缓解pH至4-5，转成硅酸钙水解，硅去掉率60%。 二次元结合 ：加Na₂CO₃将pH提高至9，进几步发展剩下硅，串连用镁剂除砷。 超滤膜程序 ：0.02μm陶瓷厂家膜过滤装置纳米技术级硅粒状，通量相对稳定在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：浓缩造成高盐电镀废水，心得出Na₂SO₄副的产品，水使用率超90%。 最终能够疗效 总硅从1500mg/L减至5mg/L接下来 砷硫含量从0.8mg/L减少为0.01mg/L 体系无水垢启动已超2年 每季度收购 硫酸钠钠晶胞约800吨