某半导制作各个企业因晶圆洁净工艺流程带来含氨污水,需水量200吨/天。污自来水中除挥发酚外还富含氟化物和微量分析巨资属,清理难易度大。各地排放出标准化请求挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 组成成分及由来
晶圆洗掉工业废水(最主要的种类):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工作生活污水:含轻微铜、镍等巨资属,pH值动荡大
CMP研磨抛光废水处理方法:含硅颗粒剂及氟化物
治疗施工工艺注意事项
使用"化学物质沉垫+膜离心分离+折点氯化"女子组合新工艺:
预进行处理
:添加CaCl2除氟,控制pH在7.5-8.
反渗透装置软件系统
:去掉0.01μm这颗粒状物
反渗萃取
:将高锰酸盐指数提液至1000mg/L不低于
折点氯化
:精度操纵氯加药系统量,将氟化物转成为氢气
化合物互转
:保驾护航血本属考核标准
进而功能
氧化还原电位不稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属含磷量最低检查测量限
水造纸废水处理率达75%
活性污泥呈现量增多40%