天津某半导体材料集成块营造厂，晶圆生产方式中行成含硅、氟的特别生活污水，设计进行加工企业规模1200吨/日。生活污水组成成分错综复杂，富含nm级硅颗粒肥料及氢佛酸，过去的进行加工的办法不易达到标准。 废气有效成分及由来 常见影响物 ：悬浊液硅（100-500nm比表面积）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 原因流程 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP普通机制机制镜面抛光污水（40%）、环保设备喷洗水（15%） 净化处理生产工艺程序流程 的创新用到"催化石雕文化沉淀+特种作业膜剥离"科技规划： 钙盐沉积 ：污泥脱水氯化钙除去氟铝离子（转为CaF2乳浊液） 水解酸化池反响 ：混合斜管沉淀池剂达成溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm直径膜截流微细粉末 反浸入系统性 ：脱盐率>98%，回收处理率75% 多效蒸发结晶体 ：浓水段推动氟化物零摆放 进而疗效 氟化物密度：<8mg/L（压低政府特级要求10mg/L） 硅含碳量：<5mg/L 水材料工业废水处理率：70%于冷却后塔补湿 垃圾减药：减压蒸馏残留物量较普通加工过程极大减少60%