半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体行业中高档首测配套工程涉重废水处理工艺——MVR强硬循环法零排工程项目
品牌原型
半导高端品牌公测活动,投资规模150万每立方/天,是首届半导公测配置涉重生活污水零排活动。公测原则的镀镍、镀铜、引线骨架难以清理会生产含镍含铜生活污水,园林规范"无尾水外排",产水完全造纸废水处理于产线。
水环境显著特点与关键点
污水以含镍主导(密度10–100毫克/升),伴一定量铜、锌,pH下降大(2–12),另外还有光刻胶残余的一定量有机酸物。测封厂场景紧,规定要求解决配套设施土地征用小;零排寓意着浓水是不能运输太久,都要网上蒸发掉晶粒闭环控制。
除工院艺自驾路线
一体化走"分质加工处理 → 预加工处理除杂 → 催化析出除镍 → 过滤清洁 → UF+有级RO → MVR强硬循环法汽化 → 冷凝器水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢空气氧化反应钠合成Ni(OH)₂积累,后加混炼橡胶钠深层次气体吸附残存镍(混炼橡胶镍Ksp比氢空气氧化反应镍更小,能够把镍压到0.1毫克/升以下的);
积淀有水出经多有机溶剂滤水程序+门卫滤水程序后进UF,再进3级RO,产水就直接回产线洗掉;
RO浓水(含盐+残留巨资属)进MVR強制反复的往复挥发器,強制反复的往复能扛高含盐结渣,挥发器自建再线洗掉,不能堵;
MVR冷凝剂水换回循环多角水池,化掉残液委外填埋或为垃圾外理,一个生产车间无液体外排。
要点的设备优点和缺点详细说明
MVR强制性要求重复差距普普通通降膜化掉,重复流动速度高、热传导面不好结镍盐/碳酸盐垢,好公测类似这些"需水量越来越但地表水杂"的情境;一体化撬装制定占地赔偿比中国传统化掉塘+多效化掉情况报告小60%以上的;废气侧设备配套生物制品滤池,把调整池和飞灰间的废气提取后化学降解成CO₂和水,制止公测厂毗邻工作区的刺鼻味道投诉信。
除理疗效与经济收益
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远超过《电镀层感染物排出原则》表三;任何150每立方米/天产水回收于测封产线拆洗,代替等量刚采水;危废处理(蒸发器残液+淤泥)量比传统化"滤渣+排出"经营模式减约70%。对富士康侧,测封楼盘环保健康审批卡点打伤通;